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设备组成:
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用:电子束蒸镀常用来制备al、co、ni、fe的合金或氧化物膜,sio2、zro2膜,抗腐蚀和耐高温氧化膜。
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1、样品台:水冷样品座,电子束蒸发镀膜设备报价,样品座高度可调,便于调整蒸距。调节范围:样品台与基片的可调节范围300mm.
2、电子枪:电子枪功率6kw可调(满足金属、绝缘材料高速蒸发)4穴水冷坩埚(适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好)。为保持e型电子枪蒸发绝缘稳定性,配制---束流扫描控制器,具有多种供控制程序进行选择的预设模式,电子束蒸发镀膜设备厂家,方便于操作、实验数据积累。配套相应蒸发坩埚内衬,电子束蒸发镀膜设备,以适应不同材料,---蒸发速率稳定性,重复性.
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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料,电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发,并成膜。电子枪有直射式、环型和e型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得---的能量密度,可达109w/cm2,加热温度可达3000~6000℃,可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中,可避免坩埚材料的污染,制备高纯薄膜;另外,由于蒸发物加热面积小,因而热辐射损失减少,热效率较高。但结构较复杂,且对较多的化合物,由于电子的轰击有可能分解,故不适合多数化合物的蒸镀。
电子束蒸发镀膜设备-沈阳鹏程真空技术公司由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司是一家从事“电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束”的公司。自成立以来,我们坚持以“诚信为本,---经营”的方针,勇于参与市场的良性竞争,使“鹏程真空”品牌拥有------。我们坚持“服务为先,用户”的原则,使沈阳鹏程在成型设备中赢得了众的客户的---,树立了---的企业形象。 ---说明:本信息的图片和资料仅供参考,欢迎联系我们索取准确的资料,谢谢!
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