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钯的化学气相沉积pd 及其合金对氢气有着极强的吸附作用以及---的选择渗透性能,是一种存储或者净---气的理想材料。对于pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。也有些学者使用化学气相沉积法将钯制成薄膜或薄层。具体做法是使用分解温度极低的金属有机化合物当做制备钯的材料,具体包括:---pd(η-c3h5) (η-c5h5)以及 pd(η-c3h5)(cf3cochcocf3)之类的材料,使用这种方式能够制取出纯度---的钯薄膜。
生产晶须:
晶须属于一种以为发育的单晶体,它在符合材料范畴中有着很大的作用,等离子化学气相沉积设备厂家,能够用于生产一些新型复合材料。 化学气相沉积法在生产晶须时使用的是金属卤化物的氢还原性质。化学气相沉积法不但能制备出各类金属晶须,等离子化学气相沉积设备公司,同时也能生产出化合物晶须,比如氧化铝、金刚砂、碳化钛晶须等等。
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化学气相沉积技术生产多晶/非晶材料膜:
化学气相沉积法在半导体工业中有着比较广泛的应用。比如作为缘介质隔离层的多晶硅沉积层。在当代,等离子化学气相沉积设备,微型电子学元器件中越来越多的使用新型非晶态材料,这种材料包括磷硅玻璃、硼硅玻璃、sio2以及 si3n4等等。此外,也有一些在未来有可能发展成开关以及存储记忆材料,例如氧化铜-氧化铜等都可以使用化学气相沉积法进行生产。
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