高真空电子束镀膜机-沈阳鹏程真空技术公司

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    2020-11-26

董顺
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电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍

1、系统自动监控和保护功能强,包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

2、分子筛吸附装置,避免机械泵返油造成膜层污染,提高薄膜纯净度。

3、膜厚监测及控制系统,高真空电子束镀膜机,可在线监测及控制膜层厚度,膜厚仪与基片挡板联动,形成闭环控制。采用晶振膜厚仪

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电子束镀膜机介绍

* 带旋转的倾斜沉积

* 行星式基片夹具

* 基片rf/dc偏压

* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀

* 附加物理沉积源(热蒸镀,磁控溅射)

* 用于反应蒸镀的mfc

* 不同的泵---择,高真空电子束镀膜机厂家,可升级分子泵为冷泵,高真空电子束镀膜机价格,前级泵为干泵

* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹

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电子束蒸发镀膜机技术特点介绍

采用了真空密封技术,---真空度高,蒸发室可进入10-5pa量级(≤5×10-5pa电子枪静止状态),可---更高的镀膜纯净度,提高镀膜。

真空密封主要采用如下技术:玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等,高真空电子束镀膜机报价,整机主要采用金属密封技术,前开门用氟胶圈,真空管路用不锈钢金属波纹管路(不用橡胶管路),采用高真空阀门。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司以诚信为首 ,服务为宗旨。公司生产、销售电子束产品,公司拥有---的销售团队和经营理念。想要了解更多信息,赶快拨打图片上的热线电话!



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