1、系统自动监控和保护功能强,包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置,避免机械泵返油造成膜层污染,提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统,高真空电子束镀膜机,可在线监测及控制膜层厚度,膜厚仪与基片挡板联动,形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
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* 带旋转的倾斜沉积
* 行星式基片夹具
* 基片rf/dc偏压
* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
* 附加物理沉积源(热蒸镀,磁控溅射)
* 用于反应蒸镀的mfc
* 不同的泵---择,高真空电子束镀膜机厂家,可升级分子泵为冷泵,高真空电子束镀膜机价格,前级泵为干泵
* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
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采用了真空密封技术,---真空度高,蒸发室可进入10-5pa量级(≤5×10-5pa电子枪静止状态),可---更高的镀膜纯净度,提高镀膜。
真空密封主要采用如下技术:玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等,高真空电子束镀膜机报价,整机主要采用金属密封技术,前开门用氟胶圈,真空管路用不锈钢金属波纹管路(不用橡胶管路),采用高真空阀门。
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