350型四源有机无机热蒸发镀膜机供应-沈阳鹏程

300c有机无机联合蒸发

主要用途： 　　

用于制备导电薄膜，半导体薄膜，铁电薄膜，光学薄膜等。 　　

系统组成: 　　

该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。 　　

技术指标： 　　

---真空度：≤6.7×10 pa 　　

恢复真空时间：从1×10 pa抽至5×10 pa≤20min 　　

系统漏率：6. 7×10-7pa.l/s； 　　

真空室：ф400 x400mm圆筒型真空室 ， 　　

蒸发源：1-4个，采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。 　

蒸发温度：加热温度：室温～1800℃； 　　

蒸发舟在距中心100～160mm的圆周上；蒸发舟可上下升降，多源有机无机热蒸发镀膜机供应，调节幅度0～150mm（样品中心与坩埚距离150~300mm）； 　

工作架类型及尺寸：样品托盘直径φ300mm，其上可放多个直径20mm的小样品；样品托盘具有自转功能，转速在0～20 转/分钟，转速可调；样品托盘可摆角，角度在0～30度可调； 　　

烘烤温度：400℃数显自动热偶控温（高温炉盘，数显自动热偶控温可加热到700℃） 　　

电阻蒸发源：电压5v，10v，功率2.5kw，水冷电极1~4对 　　

石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?

想要了解更多沈阳鹏程真空技术有限责任公司的相关信息，欢迎拨打图片上的热线电话！

parylene裂解仪

parylene用---的真空气相沉积工艺（cvd技术）制备，由活性小分子在基材表面生长出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称无孔不入可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，甚至被业内称为当今的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。parylene涂层在具备以上优异防护性能基础上，尤其还具有---的生物兼容性，生物稳定性，并有优异的自润滑性，涂层均匀可控性，以及好的物理机械性能。

1.一腔体，采用sus304不锈钢舱体有效镀膜空间 ≧ 直径300mm x 高度350mm，腔体设有观景窗， 采用掀盖式腔盖并设有把手以便腔盖开闭。

2. 旋转平台，可承载重量: 20公斤，旋转速度: 0.5至10 rpm。

3. 油式泵浦，抽气速度 ≧ 200l/min ; 压力 ≦ 5*10-3torr。

4. 控制系统，采用具pid功能之温控模块及高的精度温度传感器，系统可进行自动或半自动(温控/真空)操作，并可储存与选择recipe 。

5. 附属冷凝机，温度 ≦ -90℃

期望大家在选购电阻热蒸发镀膜产品时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多电阻热蒸发镀膜产品的相关，欢迎拨打图片上的热线电话！！！