激光脉冲沉积设备厂家-激光脉冲沉积设备-沈阳鹏程真空技术公司

脉冲激光沉积简介

沈阳鹏程真空技术有限责任公司——脉冲激光沉积供应商，我们为您带来以下信息。

设备主要用途

pld450a型脉冲激光沉积设备采用pld脉冲激光沉积技术，用于制备高温超导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结，也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种有机—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。

设备优点

设备全程采用一键式操作抽气，关机，激光脉冲沉积设备报价，程序自动化定时操作。避免了繁琐的角阀，插板阀人工开启。

设备主要组成

设备由沉积腔室（单室球形或圆筒形）、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成

脉冲激光沉积设备介绍

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是比较理想的薄膜与涂层合成设备。可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2d材料。blue wave还提供相关系统配件，例如基片加热装置、原位监测工具。此外，bluewave还为您提供标准的薄膜以及材料涂层，例如氧化物涂层、导电薄膜、无定型或纳米晶si/sic、晶体aln-gan、聚合物、纳米钻石、hfcvd钻石涂层以及器件加工。