气相化学沉积设备报价-气相化学沉积设备-沈阳鹏程真空技术公司

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    2020-8-14

董顺
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pcvd工艺的具体流程

pcvd工艺的具体流程如下:

(1)沉积。沉积过程借助低压等离子体使流进高纯度石英玻璃沉积管内的气态卤化物和氧气在1000℃以上的高温条件下直接沉积成设计要求的光纤芯中玻璃的组成成分。

(2)熔缩。沿管子方向往返移动的石墨电阻炉对小断旋转的管子加热到大约2200℃,气相化学沉积设备多少钱,在表面张力的作用下,分阶段将沉积好的石英管熔缩成一根实心棒(预制棒)。

(3)套棒。为获得光纤芯层与包层材料的适当比例,将熔缩后的石英棒套入一根截面积经过---挑选的管子中,这样装配后即可进行拉丝。

(4)拉丝。套棒被安装在拉丝塔的顶部,下端缓缓放入约2100℃的高温炉中,此端熔化后被拉成所需包层直径的光纤(通常为125 cm),并进行双层涂覆和紫外固化。

(5)光纤测试。拉出的光纤要经过各种试,气相化学沉积设备,以确定光纤的几何、光学和机械性能。

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等离子体化学气相沉积

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等离子体化学气相沉积简称pcvd,是一种用等离子体激发反应气体,促进在基体表面或近表面空间进行化学反应,生成固态膜的技术。等离子体化学气相沉积技术的基本原理是在高频或直流电场作用下,气相化学沉积设备,源气体电离形成等离子体,利用低温等离子体作为能量源,通入适量的反应气体,利用等离子体放电,使反应气体激发并实现化学气相沉积的技术。



化学气相沉积法在金属材料方面的使用

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钯的化学气相沉积pd 及其合金对氢气有着极强的吸附作用以及---的选择渗透性能,是一种存储或者净---气的理想材料。对于pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。也有些学者使用化学气相沉积法将钯制成薄膜或薄层。具体做法是使用分解温度极低的金属有机化合物当做制备钯的材料,具体包括:---pd(η-c3h5) (η-c5h5)以及 pd(η-c3h5)(cf3cochcocf3)之类的材料,使用这种方式能够制取出纯度---的钯薄膜。



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