激光脉冲沉积设备报价-沈阳鹏程-激光脉冲沉积设备

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    2020-12-3

董顺
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脉冲激光沉积设备介绍

以下是沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您一起分享的内容,沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产脉冲激光沉积,欢迎新老客户莅临。

是比较理想的薄膜与涂层合成设备。可制备的薄膜包括氮化物、氧化物、多层膜、钻石、石墨烯、碳纳米管、2d材料。blue wave还提供相关系统配件,例如基片加热装置、原位监测工具。此外,bluewave还为您提供标准的薄膜以及材料涂层,激光脉冲沉积设备报价,例如氧化物涂层、导电薄膜、无定型或纳米晶si/sic、晶体aln-gan、聚合物、纳米钻石、hfcvd钻石涂层以及器件加工。



脉冲激光沉积系统的配置介绍

沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售脉冲激光沉积,我们为您分析该产品的以下信息。

1.靶: 数量6个,大小1-2英寸,被激光照射时可自动旋转,靶的选择可通过步进电机控制;

2.基板:采用适合于氧气环境铂金加热片,大小2英寸,加热温度可达1200摄氏度,温度差<3%,加热时基板可旋转,激光脉冲沉积设备公司,工作环境的压力可达300mtorr;

3.基板加热电源,高到1200度;

4.真空成膜室腔体:不锈钢sus304材质,内表面电解抛光,本底真空度<5e-8 pa;

5.样品搬运室:不锈钢sus304材质,激光脉冲沉积设备,内表面电解抛光,本底真空度<5e-5 pa;

6.排气系统:分子泵和干式机械泵;

7.阀门: 采用真空挡板阀;

8.真空检测:真空计;

9.气路两套: 采用气体流量计控制;

10.薄膜生长监控系统: 采用扫描型差分rheed;

11.监控系统:基板温度的监控和设定,基板和靶的旋转,靶的更换等;

12.各种电流导入及测温端子;

13.其它各种构造:各种真空位移台,磁力传输杆,真空法兰,真空密封垫圈,激光脉冲沉积设备价格,真空用波纹管等;



脉冲激光沉积发展前景

由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知,它是一种---发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化,将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用;并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平,加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。

沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年脉冲激光沉积行业经验,---脉冲激光沉积研发定制与生产,---的脉冲激光沉积生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!



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