电子束蒸发镀膜设备-沈阳鹏程真空技术公司

电子束镀膜机部件介绍

镀膜室：

采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸φ450×h600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空---不锈钢， 厚度***1 mm），镀膜室及前开门材质：304真空---不锈钢，电子束蒸发镀膜设备价格，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，电子束蒸发镀膜设备，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。

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电子束镀膜设备介绍

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电子束蒸镀（electron beam evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以---地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。