电子枪蒸发是到目前为止应用较多的一种蒸发方式，它可以蒸发任何一种镀膜材料，它的工作方式是：将镀膜材料放在坩埚里面，将蒸发源制作成灯丝形状，采用一专门的控制柜，对灯丝加一强电流，高电压，由于灯丝的材料是钨，所以它会---，然后会发射电子，再采用一定的磁场将其---成一定形状，并牵引到坩埚上，这样就形成了一股电子束，由于电子束温度非常高，可以熔化任何镀膜药材，当镀膜药材被电子束熔化后（有些材料是直接升华），药材的分子（原子或者离子）在真空中成直线运动，然后遇到基板，就凝结下来，经过这种方式生长，形成薄膜！
常用的有将电子束的偏转角制作成270度，电子束蒸发镀膜机厂家，、或者运行轨迹为e型的e行电子枪或者电子束偏转角180度，运行轨迹为c型的c型电子枪两种。
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设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备al、co、ni、fe的合金或氧化物膜，sio2、zro2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。
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设备性能技术指标：
1、设备---真空度：5×10-5pa（电子枪静止状态）。
2、设备总体漏放率：关机12小时后，真空度≤8pa。
3、从---到抽到≤9×10-4pa，40min(新设备充干燥氮气)，提高了工作效率。
4、真空漏率：≤10-7pa.l/s
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