产品特点
1、此款镀膜仪配置有两个靶枪:一个靶枪配套的是射频电源,用于非导电靶材的溅射镀膜;一个靶枪配套的是直流电源,用于导电材料的溅射镀膜
2、该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜,应用非常广泛。
3、该镀膜仪体积较小,且配备有触摸屏控制面板,操作方便。
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有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构,主要由二个有机材料生长室组成,钙钛矿镀膜机,两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接,其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口,能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
主要用途:
用来生长有机材料提纯的研究工作。
系统组成: 该类设备为单室结构。
技术指标:
---真空≤610-4pa,钙钛矿镀膜机,工作压力≤2*10-3pa;
系统漏率≤6.7×10-7pal/s。
镀膜室:腔室尺寸约为φ50×350mm,钙钛矿镀膜机定做,石英材料,圆柱形结构。
抽气系统:采用分子泵+机械泵抽气系统;
样品可加热,加热温度为:200-600℃;
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
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