化学气相沉积的方法很多,如常压化学气相沉积(atmospheric pressure cvd,apcvd)、低压化学气相沉积(low pressure cvd,lpcvd)、真空化学气相沉积(ultrahigh vacuum cvd,uhvcvd)、激光化学气相沉积(laser cvd,lcvd)、金属有机物化学气相沉积(metal-organic cvd,气相化学沉积设备,mocvd),等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced cvd,pecvd)等。
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现代科学和技术需要使用大量功能各异的无机新材料,这些功能材料必须是高纯的,或者是在高纯材料中有意地掺入某种杂质形成的掺杂材料。但是,气相化学沉积设备公司,我们过去所熟悉的许多制备方法如高温熔炼、水溶液中沉淀和结晶等往往难以满足这些要求,也难以---得到高纯度的产品。因此,气相化学沉积设备报价,无机新材料的合成就成为现代材料科学中的主要课题。
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? 高温石英管反应器设计
? 温度范围:室温到1100度
? 多路气体准确控制
? 标准气压计
? 易于操作
? 可配机械泵实现低压tcvd
? 可用于制备金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜
? 液体前驱体喷头
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