主要用途：
---适合opv/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。
系统组成:
主要由真空室系统蒸发室、蒸发源系统、样品台系统、 真空抽气及测量系统、气路系统、控制系统、膜厚测试 系统、电控系统组成。
技术指标：
---真空度6.7×10-5pa，系统漏率：1×10-7pal/s； 恢复真空时间：40分钟可达6.6×10 pa（短时间暴露 ---并充干燥氮气后开始抽气）
样品台：尺寸为4英寸平面样品；
蒸发源：3套
4套挡板系统：挡板共有3套，动密封手动控制；
气路系统:流量控制器1路
石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999?
可选分子泵组或者低温泵组合涡旋干泵抽气系统
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——生产、销售电阻热蒸发镀膜产品，我们公司坚持用户为---，钙钛矿镀膜设备，想用户之所想，急用户之所急，以诚为本，钙钛矿镀膜设备，讲求信誉，以产品求发展，以求生存，钙钛矿镀膜设备价格，我们热诚地欢迎各位同仁合作共创。
工作真空6*10 -4 帕
恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟
不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟
本套设备配有8个有机源及2个金属源
金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置
膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选
金属蒸发源配有1000w电源
有机蒸发源配有可控温电源，控温精度±1℃
1、样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，钙钛矿镀膜设备定做，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置。
2、设有烘烤加热功能，可在镀膜过程中加热样品，烘烤加热温度为≤180℃。
3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。
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沈阳鹏程真空技术公司-钙钛矿镀膜设备-钙钛矿镀膜设备由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司是从事“电阻热蒸发镀膜，磁控溅射，激光脉冲沉积，电子束”的企业，公司秉承“诚信经营，用心服务”的理念，为您提供高的产品和服务。欢迎来电咨询！联系人：董顺。
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