oled多源蒸发镀膜机-沈阳鹏程公司

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    2020-9-26

董顺
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300c有机无机联合蒸发

主要用途:   

用于制备导电薄膜,半导体薄膜,oled多源蒸发镀膜机,铁电薄膜,光学薄膜等。   

系统组成:   

该蒸镀设计系统主要由真空抽气及真空测量系统、真空室系统、工件架系统、蒸发源系统、膜厚测试系统、蒸发舟挡板系统、烘烤照明系统、水冷却循环及报警系统、电控及控制系统、辅助系统等设计。   

技术指标:   

---真空度:≤6.7×10 pa   

恢复真空时间:从1×10 pa抽至5×10 pa≤20min   

系统漏率:6. 7×10-7pa.l/s;   

真空室:ф400 x400mm圆筒型真空室 ,   

蒸发源:1-4个,采用电阻蒸发舟、蒸发蓝、绞丝、束源炉至下向上蒸发镀膜。  

蒸发温度:加热温度:室温~1800℃;   

蒸发舟在距中心100~160mm的圆周上;蒸发舟可上下升降,调节幅度0~150mm(样品中心与坩埚距离150~300mm);  

工作架类型及尺寸:样品托盘直径φ300mm,其上可放多个直径20mm的小样品;样品托盘具有自转功能,转速在0~20 转/分钟,转速可调;样品托盘可摆角,角度在0~30度可调;   

烘烤温度:400℃数显自动热偶控温(高温炉盘,数显自动热偶控温可加热到700℃)   

电阻蒸发源:电压5v,10v,oled多源蒸发镀膜机销售,功率2.5kw,水冷电极1~4对   

石英晶振膜厚控制仪:膜厚测量范围0-999999?

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有机热蒸发镀膜机介绍

技术指标:

1. 真空室的---真空度达5*10-5pa,漏率为关机12小时≤5pa

2. 真空腔内配有集约样品台一套,oled多源蒸发镀膜机公司,配有大挡板和16套小挡板,手动控制,开关方便快捷,每个小挡板挡两块30*30mm样片

3. 蒸发源共14套,其中10套有机蒸发源,4套金属蒸发源。控温精度±1℃,可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能

4. 金属蒸发源配4台一带一1000w可控硅调压电源,通过铜电极连接,两端可夹钨绞丝或者钽舟,钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料,钽舟可以蒸镀粉末状材料,蒸发源采用陶瓷全密封,避免交叉污染

5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源,有机源温度为室温-500度,可以根据材料及用户需求自行调节

6. 样品台具有旋转、升降功能,可在线更换掩膜板一次,可同时装载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板,并且通过plc控制步进电机对每个小挡板做16个定位,oled多源蒸发镀膜机多少钱,使机械手推拉小挡板,样品与蒸发源之间的间距为200-300mm

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有机无机蒸发镀膜仪

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有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构,主要由二个有机材料生长室组成,两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接,其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口,能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。



oled多源蒸发镀膜机-沈阳鹏程公司由沈阳鹏程真空技术有限责任公司提供。沈阳鹏程真空技术有限责任公司位于沈阳市沈河区凌云街35号。在市场经济的浪潮中拼博和发展,目前沈阳鹏程在成型设备中享有---的声誉。沈阳鹏程取得商盟,我们的服务和管理水平也达到了一个新的高度。沈阳鹏程全体员工愿与各界有识之士共同发展,共创美好未来。


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