泰州高真空电子束镀膜机-高真空电子束镀膜机报价-沈阳鹏程

电子束镀膜设备介绍

以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。

电子束蒸镀（electron beam evaporation）是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以---地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。

电子束蒸镀系统的特点

* 涡轮分子泵，高真空电子束镀膜机，串接机械泵或干泵

* pocket电子枪

* 电子束源和基片遮板

* 性能好的开关电源，杰出的消弧性能

* 自动pocket索引以及可编程的扫描控制器

* 膜厚监测，可设置目标膜厚作为工艺终点条件

* 旋转样品台，提供高均匀性

* 带观察视窗的腔门，高真空电子束镀膜机报价，便于放片/取片

* pc全自动控制，具有高度的可重复性

* labview软件的计算机全自动工艺控制控

* 多级密码保护的授权访问设计

* emo保护以及完全的安全联锁

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