很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧气压力(>;100 torr)下冷却是有利的。所有pioneer 系统设计的工作压力范围。从它们的额定初始压力到---压力。这也有益于纳米粒子的生成。
pioneer pld 系统的激光束入射角为45°,保持了激光密度在靶材上的均匀性,同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。浅的入射角能够拉长靶材上的激光斑点,导致密度均匀性的损失。
为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵流体,消除油的回流对薄膜的影响,所有pioneer 系统的标准配置都采用无油真空系统。
我们的研究表明靶和基片的距离是获得较佳薄膜的关键参数。pioneer 系统采用可变的靶和基片的距离,对沉积条件进行较大的控制。
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脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,---物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
应用领域:
单晶薄膜外延(srtio3,laalo3)
压电薄膜(pzt,aln,bifeo3,batio3)
铁电薄膜(batio3,kh2po4)
热电薄膜(srtio3)
金属和化合物薄膜电极(ti,ag,au,pt,ni,脉冲激光沉积装置价格,co,srruo3,lanio3,yzro2,gdceo2,lasrcofeo3)
半导体薄膜(zn(mg)o,aln,srtio3)
高k介质薄膜(hfo2,ceo2,al2o3,脉冲激光沉积装置,batio3,脉冲激光沉积装置报价,srtio3,pbzrtio3,laalo3,ta2o5)
超导薄膜(yba2cuo7-x,bisrcacuo)
光波导,光学薄膜(pzt,aln,batio3,al2o3,zro2,tio2)
超疏水薄膜(ptfe)
红外探测薄膜(v2o5,脉冲激光沉积装置公司,pzt)
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脉冲激光沉积系统配置:
生长室,进样室可选水平、垂直两种靶台可选激光加热和辐射加热两种样品台可选,激光加热高的温度1200℃工艺气路可以任意搭配配备高压rheed,工作气压可达100pa可预留法兰,用于leed,k-cell, e-beam等其它可选项如臭氧发生器,离子源,掩膜系统等。
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